半導體車間廢氣處理設備選擇標準：

　　(1)半導體生產車間廢氣處理設備的選擇是根據待消除氣體的種類、濃度、流量和壓力，減排設備的處理能力，綜合考慮農藥的壽命、前后與設備的關系等多種情況，挑選合適的處理方法和設備。

　　(2)半導體生產車間廢氣處理設備在混合時將會爆炸、起火或造成有害物的氣體處理應該是一個***立的系統。

　　(3)可能有自燃性氣體或可燃氣體流動的排風管道采用不燃材料。

　　(4)不可以讓半導體生產車間廢氣處理設備規格中規定的廢氣以外的廢氣流動，或準許***量廢氣流動超出廢氣處理設備的處理水平。